二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293798907 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是由TEL（TOKYO ELECTRON）設計建造的蝕刻器/asher。它用於半導體器件加工中的蝕刻和灰化工藝.TEL INDY PLUS B-M憑借其高分辨率和卓越的性能能力,提供了卓越的工藝性能。蝕刻器/asher在晶圓尺寸和工藝方面提供了高度的靈活性,允許用戶為其特定工藝選擇合適的工具。該工具利用TEL/TOKYO ELECTRON獨特的高分辨率投影光學器件，結合精密運動控制，在所有工藝類型中實現優越和精確的過度蝕刻性能。TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M通過其機器設計和軟件工具設計，滿足各種蝕刻和灰化工藝的苛刻要求。它可用於廣泛的蝕刻和灰化應用，包括淺溝槽隔離（STI）、深反應性離子蝕刻（DRIE）、導電絕緣蝕刻、定向蝕刻和塑料蝕刻。TEL INDY PLUS-B-M利用TEL定制組件陶瓷針式裝卸卡帶，從而為用戶提供增強的晶片裝卸。陶瓷針式裝卸盒也減少了晶圓制備的停機時間。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M由於其高分辨率的投影光學器件和能夠精確控制其運動以獲得更好的過度蝕刻性能而被設計為在蝕刻和灰化過程中提供卓越的性能。它還具有基於Web的現場服務功能,使用戶能夠遠程訪問診斷信息。利用其先進的軟件工具，用戶可以輕松地為自己的流程選擇合適的參數，並有效地監控系統性能。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M是一個安全可靠的系統，得益於其穩健的設計和高度可靠的元件。它還具有遠程監控的功能,因此用戶可以快速準確地診斷系統的任何問題。總之，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M是一款先進的蝕刻器/asher，由於其高分辨率的光學元件、精確的運動控制和可靠的元件，提供了卓越的工藝性能。它還能夠進行遠程監測，包括基於網絡的外地服務能力。