二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293816259 待售

ID: 293816259
晶圓大小: 12"
Furnace, 12" Process: SiO2 Dual boat SMIF: FOUP type N2 Load lock (25) Carrier slots Control system Process gasses Process liquid Gas distribution system Exhaust distribution system Wafer / Cassette handling Elevator handling VMM-56-201 Heating chamber No RF system No HEC Pyro CTL No RCU No Cold trap.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一種先進的擴散爐,具有先進的特性和能力,設計用於半導體制造中晶圓的高性能加工。這款創新工具結合了精密控制、高吞吐量和優越的統一性,滿足了業界苛刻的要求。TEL INDY PLUS B-M擴散爐設有多區加熱系統,確保整個晶圓表面的精確溫度控制。這樣可以實現均勻的加熱和冷卻循環,這對於在擴散過程中取得一致和可靠的結果至關重要。爐子的溫度範圍可以調整,以適應各種各樣的工藝配方和材料,使其成為各種應用的通用工具。除了溫度控制外,TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M還具有氣體流量控制系統,能夠精確調節工藝室內的大氣。這樣可以確保晶片暴露在擴散過程的最佳條件下,從而提高性能和產量。該爐還包括先進的安全功能,以防止氣體泄漏,並確保過程環境的完整性。TEL INDY PLUS B M是為高通量處理而設計的,讓半導體廠商在不犧牲品質的情況下增加產能。該工具具有一個大的加工室,可以同時容納多個晶片,減少循環時間和提高效率。該爐還配備了先進的自動化能力,如配方管理和數據記錄,以簡化處理工作流程,盡量減少操作員幹預。TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M的關鍵優勢之一是它與廣泛的附件和升級的兼容性增強了它的性能和多功能性。其中包括輔助氣體輸送系統、晶圓處理機器人,以及能夠實現實時過程控制和優化的高級過程監控工具。該爐還可以集成成一條完整的半導體制造生產線,提供從晶圓制備到封裝的無縫過渡。總體而言,INDY PLUS B M是一種前沿擴散爐,為半導體制造應用提供卓越的性能、可靠性和靈活性。其先進的特性和功能使其成為高批量生產環境的理想選擇,在高批量生產環境中,精度、一致性和效率至關重要。通過利用這種工具的能力,半導體制造商可以取得優異的成績,在快速發展的半導體行業中保持領先地位。
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