二手 TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #9381843 待售

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M是一款高性能的蝕刻器/asher，旨在滿足最先進的半導體器件制造的需求。TEL INDY PLUS B-M利用革命性的液相蝕刻工藝來實現對蝕刻特征尺寸和形狀的精度和控制。這一獨特的功能讓TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M可以在短短幾分鐘內用金屬硬掩模或有機硬掩模與緊CD控制產生特性。雙非均勻梁角的集成提供了較高的特征質量。這樣可確保在大型特征尺寸上均勻蝕刻,並具有最小的底切或側壁粗糙度。TEL INDY PLUS B M的工藝靈活性因其廣泛的工藝氣體包括 、 、 、SF6和 而得到進一步增強。這促進了多種沈積技術，包括Multi-Dep和Arealuzion、多晶矽LPCVD和各向異性幹蝕刻等。INDY PLUS B-M還具有專有的基板和壓板冷卻功能，以防止熱損壞並降低背蝕的概率。INDY PLUS-B-M旨在提供更高的吞吐量和減少停機時間。它具有廣泛的亞納秒脈沖能力，可用於將蝕刻能量引導到特定的工藝區域。這樣可以加快蝕刻周期,使機器能夠用於更廣泛的工藝配方。機器的模塊化設計允許快速交換過程模塊，從而提高基材吞吐量，增加操作員節省設置時間的時間。最後，TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M具有局部射頻等離子體源和集成離子源，以增強沈積均勻性和重復性。與同一類別的蝕刻器相比,RF系統提供了擴展的過程控制靈活性。綜上所述,INDY PLUS B M是一種多功能的蝕刻器/asher,可提供過程靈活性、增強的吞吐量和可重復的性能。其獨特的液相蝕刻工藝具有較小的特征尺寸和緊密的CD控制，包括可調光束角和基板/板材冷卻。它的快速亞納秒脈沖允許多過程配方，而其集成的射頻和離子源提供了更高的精度。這種先進的蝕刻器/asher非常適合生產復雜的半導體器件。