二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293587429 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蝕刻器/asher，旨在提高生產吞吐量，同時保持高精度和重復性。Asher利用緊湊的足跡,便於安裝和快速轉換。它具有廣泛的蝕刻工藝，可用於各種應用，包括金屬痕跡、多氯聯苯和MEMS。TEL INDYPLUS配備了動態實時反饋系統和快速、準確的流程窗口以及可重現的流程。該蝕刻器的子機位提供X-Y-軸和Z軸運動,可對最小模式尺寸為3 µm的特征進行精確和可重復的陣列處理。分站具有高加速度、極好的位置精度和平滑安靜的運動。為減輕因工藝環境或電遷移而產生的真空壓力誤差，該蝕刻器具有提供穩定準確性能的超精密PID線性執行器。其先進的成像功能可實現快速對齊和提高生產吞吐量。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了可定制的工藝配方，允許不同的蝕刻化學。其直觀的用戶界面提供了對所有參數和配方的輕松訪問，簡化了設置和過程控制。它還具有內置的Smart Erosive Monitor,可實時監視、可視化和記錄蝕刻工藝條件,從而允許高度可重復的蝕刻條件。該系統還具有高級自動調整算法,該算法進一步簡化了配方設置和調整,以便在本地或整個產品線中保持最佳性能。蝕刻機可以用於各種工業環境，無論是生產車間還是研發設施。內置的安全功能為用戶提供了一個安全、安全的操作平臺以及在低壓或電源中斷時的自動關閉功能。TEL Indy Plus還通過了CE和RoHS法規認證。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS被設計為可靠、直觀且經濟實惠的蝕刻器/asher。它非常適合廣泛的生產應用程序,為用戶提供更好的生產吞吐量、準確、可重復的過程以及總體出色的蝕刻體驗。