二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種用於生產半導體器件的蝕刻器/asher。它用於在晶片上蝕刻/灰層光刻材料，以便在晶片上創建各種特征。該工藝被稱為光刻，是制造半導體器件的關鍵步驟。TEL INDYPLUS具有VariBeam™的單列光學柱,提供卓越的性能和準確性。該柱能夠精確蝕刻精確的幾何形狀。由於它的高分辨率、在較高的光束電流下進行蝕刻的能力以及它集成到蝕刻加工工具的常見環境中，它提供了高度的多功能性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS還具有多種其他特性，例如25千伏電勢隔離偏置電極，一個健壯的監測系統，以及在蝕刻和灰化過程中控制溫度和大氣。這使得光刻層能夠精確、穩定地蝕刻和粉刷。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了自偏置校準和自束電流校準，以確保蝕刻和灰化工藝的高質量。這些功能允許操作員設置目標電壓、光束電流和輪廓,Indy Plus將自動調整以進行優化。采用最先進的計算機控制，INDYPLUS還可以在蝕刻和灰化過程中測量和調節溫度、酸度和壓力。這確保了每個晶圓循環都是可重現和均勻的。TEL Indy Plus 蝕刻器/asher是創建質量最高的精確幾何的完美工具。它在各種過程中提供穩定的操作，其特點使其成為創建半導體器件的可靠工具。TEL自豪地提供INDY PLUS 蝕刻器/asher,為生產優質半導體器件設定行業標準。