二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596082 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是在集成電路（IC）製造過程中使用的蝕刻器/asher，透過有選擇地移除材料，在基板上建立特徵圖樣，例如柵極和互連接線。它是一種工具,在實現低邊緣粗糙度和精確輪廓控制的精確特征尺寸方面起著重要作用。TEL INDYPLUS是一種濕蝕刻設備，意味著采用離子溶解工藝。該系統可以處理有機和無機材料，如矽、鋁、磷化硼和石英。該單元還可以一次蝕刻多層，從底部一直到基板頂部，使其成為IC制造中非常通用的工具。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了最先進的技術，例如先進的工藝控制和專有的紅外特征識別單元，可以檢測放置在基板上的小特征。由於其強大的蝕刻能力，以及集成的多射流離子束植入和激光機器，該機器還能夠具有精確的尺寸和形狀。Indy Plus擁有用戶友好的控制工具，配有4.3英寸觸摸屏面板，使用戶能夠設置不同的流程條件，使用起來簡單直觀。資產還包括一個高速數據收集單元，可以收集過程數據，並在每個蝕刻步驟進行過程中提供實時反饋。此外，該型號還配備了一系列防腐蝕措施，保護設備免受被捕獲氣體和顆粒物汙染造成的損害。這包括一個綜合過濾系統，過濾微粒，並從蝕刻室中清除雜質，確保清潔和精確的蝕刻結果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS是IC製造的重要工具，並因其精確度和重復性而日益普及。通過提供具有低邊緣粗糙度的精確特征尺寸和形狀,以及先進的工藝控制功能,該設備為希望生產高質量IC元件的制造商提供了一個有利的選擇。