二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款專為制造半導體器件而設計的全自動蝕刻器/asher。該設備是一種高度可靠、最先進的蝕刻/熱氧化物工具，可用於石英、矽、鋁等基材的加工。TEL INDYPLUS具有直觀、用戶友好的觸摸屏控制面板,可輕松監控內部操作、設置條件和故障排除。可以設置各種系統警報和警報,以將任何問題通知用戶。TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用工藝控制的氣體分配單元和獨特的前體濃度采樣方法，能夠精確控制蝕刻過程和氣相化學。TEL Indy Plus設有兩個加工室。第一種是基板室，其中蝕刻速率受壓力和溫度控制。二是熱氧化劑，其中氧化可以通過溫度和時間來控制。TOKYO ELECTRON Indy Plus有一個可容納最多四個基板的單個口袋面板，允許晶圓直徑在2「到6」之間。該機器能夠在高達900°C、低至-20°C的溫度下運行。TEL INDY PLUS能夠在一次運行中執行多個過程,包括蝕刻清洗、剖析和隔離蝕刻,用於淺層溝槽隔離（STI）和其他高縱橫比蝕刻。此外，還可以進行擴散、熱氧化等多種蝕刻後過程。該工具還包括氣體排氣、擋板隔離和隔熱屏蔽等多項安全環保功能。總體而言,INDYPLUS是一種可靠且用途廣泛的工具,具有一系列優點和功能,使其成為半導體制造的理想選擇。它擁有一套全面的參數和能力，使其成為進行各種精確度和重復性極高的蝕刻過程的完美選擇。