二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627973 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蝕刻器（又稱asher），由領先的半導體設備公司、三菱UFJ金融集團成員TEL創立，總部設在日本。它結合了最新技術,提供高精度蝕刻和一套全面的功能,以滿足各行業客戶的需求。TEL INDYPLUS在一個易於使用、經濟實惠的平臺上提供精密蝕刻的精細特征尺寸和高精度平坦度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一種石英冷壁蝕刻器，使用汽化氣金屬化學氣相沈積（VMCVD）工藝，用光刻膠或其他層覆蓋晶圓表面，然後用INDY PLUS蝕刻掉。INDYPLUS具有多種蝕刻技術，包括反向離子銑削（RIM）、離子銑削（IM）和化學機械平面化（CMP）。某些型號的蝕刻速率高達每秒20,000 Ångstroms（Å/秒）,可提供高精度和高分辨率。TOKYO ELECTRON Indy Plus具有廣泛的功能和選項,包括高級過程控制和數字自動化。機載先進工藝控制系統允許用戶實時調整蝕刻參數，優化蝕刻工藝，提高精度和重復性。數字自動化提供靈活的錯誤檢查功能和自動化模塊，使用戶能夠輕松編程蝕刻過程和跟蹤過程變化。用戶還可以利用TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS的高級安全功能。其多種安全特性包括帶安全聯鎖的封閉式腔室、守衛的檢修面板、緊急停止開關和緊急自動關閉系統。Indy Plus還具有許多診斷功能,包括溫度和壓力傳感器,以幫助確保適當的操作條件以獲得完美的蝕刻結果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS專為方便維護和用戶友好操作而設計。它的防靜電和抗振動設計有助於保護機器免受碎片和灰塵汙染，而它的用戶友好界面允許快速和方便的設置和操作。TOKYO ELECTRON INDYPLUS也與多種TOKYO ELECTRON真空管理系統兼容，提供全面靈活的真空系統。這些功能結合三年保修,使TEL INDY PLUS成為滿足蝕刻需求的理想選擇。