二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款為高級半導體加工而設計的蝕刻器/asher。它是對標準TEL Indy型號的升級，由精密真空室、工藝站和自動化工藝控制器組成。這種蝕刻器/asher促進了半導體器件制造中所用的幹蝕刻工藝。TEL INDYPLUS用於光刻、光刻灰泥、幹蝕刻、離子植入和離子束表面加工。它能夠處理這些操作中使用的氣體和混合物，並提供高速、高精度的全局對準，用於解析亞微米模式。此蝕刻器/asher使用高級工藝均勻地蝕刻具有高質量曲面的多個區域。它具有高速全局對準顯微鏡、200 nm級運動精度和漂移補償特性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS還為蝕刻工藝提供了卓越的重復性，提高了並行蝕刻的吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS的腔室能夠達到10mTorr或更小的基本壓力,並且與標準的Indy蝕刻器或其他蝕刻器/asher模型相比,可以提供更短的疏散時間。腔室設有交流感應磁控管濺射裝置和熱輔助CVD金屬沈積裝置。TOKYO ELECTRON Indy Plus可容納300毫米晶圓，並通過氣體過濾系統和多氣體輸送單元的氣體淋浴設備維護清潔環境。這臺機器保證了腔室不受汙染，從而提高了蝕刻精度和吞吐量。Indy Plus能夠處理高長寬比蝕刻，還能進行高達幾百納米厚度的蝕刻。這種蝕刻器/asher可以一次處理多種材料，使其適合各種工藝應用。此外，INDY PLUS與各種IPEC蝕刻化學體系兼容。INDYPLUS對用戶友好,並提供可升級的改進設計,使其成為那些尋求多功能蝕刻器/asher的用戶的經濟實惠的選擇。蝕刻器/asher還配備了安全功能，以確保人員安全，防止潛在事故發生。