二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高級蝕刻器/asher，專為半導體制造業的應用而設計。它是一種高度先進的設備，具有精確的光束控制能力，能夠進行各種蝕刻和灰燼處理。該系統同時利用直軸梁控制（DABC）和反軸梁控制（IABC）功能。它還配備了高速成像單元和專有的光刻軟件。TEL INDYPLUS機器支持批處理和單晶片操作模式。在批量操作模式下，一次運行最多可容納200個晶圓。此模式允許用戶通過執行自動化過程而無需手動加載來提高吞吐量和生產率。該工具還具有確保均勻蝕刻和灰分結果的高級調平能力。資產包括一個稱為均勻高等離子體（UHP）腔室的專用腔室設計，它通過增加等離子體源數量和創建對稱等離子體壓力剖面來控制蝕刻和灰燼過程。這有助於降低蝕刻和灰化不均勻的可能性,從而提高可重復性和產量。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS型號還配備了Cleaning to Etch（C2E）功能。此功能使用戶能夠自動設置一系列過程步驟,如清潔、蝕刻和灰化,以提高效率。Indy Plus設備也是為了最大的安全性而設計的。它帶有一個警報系統，用於監測過程環境，包括溫度和壓力。在緊急情況下，該裝置還具有自動關閉功能。總體而言,INDYPLUS機器是為半導體制造而設計的先進、高效的蝕刻器/asher。它提供精確的光束控制、高速成像、均勻的高等離子體腔、清潔到蝕刻功能,以及用於監控過程作業的報警工具,使其成為任何應用的可靠可靠的資產。