二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649525 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種半導體微電子處理設備，利用高效蝕刻/灰化工藝。該系統能夠蝕刻/灰化各種不同的材料，包括一系列的矽、矽氧烷和其他各種半導體材料。這種蝕刻/灰化單元在蝕刻和或灰化小特征尺寸時特別有效，這使得小型探測器、晶體管和其他半導體器件的處理成為可能。蝕刻/灰化過程包括幾個精確控制的步驟。這些步驟被設計為在蝕刻過程中獲得均勻性，這是產生可靠和一致的微電子器件所必需的。初始工藝步驟采用汽化器，以三維汽化模式對目標材料進行汽化。其次是燃油噴射機，它向沈積的材料提供額外的熱能，以增加解離速率。為了使該過程均勻，高強度激光束被引導到基板上，以便在特定地點有選擇地加熱目標材料。一旦施加熱量，蝕刻材料就暴露在等離子體環境中。這種環境導致物質進一步解離成成分分子。通過精確控制等離子體腔內的條件，可以選擇性地蝕刻掉組件。蝕刻/灰化過程還能夠以非常受控的方式去除材料。這是通過使用高功率清掃梁工具來實現的。梁按順序穿過基板表面,這會導致材料逐漸被移除。最後,使用組合資產來組合蝕刻/灰化過程的各個組成部分。該模型包括一個自動控制面板，它允許對整個過程進行單獨和完整的控制。控制面板用於設置蝕刻時間、等離子體溫度、壓力和激光功率等參數。TEL INDYPLUS是一種高效的蝕刻/灰化設備,為不同的材料提供多種高級蝕刻工藝。該系統旨在為生產高質量可靠的微電子器件提供高效、精確的蝕刻工藝。