二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649527 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是由全球領先的先進半導體生產設備供應商TEL （TOKYO ELECTRON）開發的著名蝕刻/灰化設備。這種最先進的系統旨在通過等離子體活化的化學物質對各種常用的半導體材料進行精確的圖案、蝕刻和微型化。這些包括多晶矽、聚酰亞胺、氮化矽、氮化物蝕刻和多摻雜矽。TEL INDYPLUS蝕刻/灰化工藝包括兩個步驟：預蝕刻和後蝕刻。預蝕刻過程使用感應耦合等離子體（ICP）源產生半導體材料蝕刻構型所必需的離子。此階段為基板的所有目標表面提供均勻、高質量的蝕刻。對於後蝕刻過程，TOKYO ELECTRON INDY PLUS單元具有令人印象深刻的數字增強推導各向異性（DEDA）。這一有價值的特性為基板的目標表面提供了高度精確的蝕刻。這種精密蝕刻使得INDYPLUS機器能夠達到高達5納米的分辨率。此外，INDY PLUS采用了基於穿孔的幾何形狀，這確保了流向蝕刻區的氣體高度均勻。這種均勻性保證了整個過程中可重現的蝕刻模式。Indy Plus還配有一個高分辨率顯微鏡工具，用於檢查蝕刻圖案。它支持實時成像,並允許用戶監視其蝕刻過程的進度,以及檢查是否存在缺陷和其他缺陷。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS資產還包括一個快門檢測模型，該模型可防止輻射在快門關閉時通過設備。總而言之，TOKYO ELECTRON Indy Plus系統提供了在廣泛的基板上制造微觀結構和納米尺度特征的完美平臺，具有很高的重復性和準確性。通過其先進的技術和蝕刻能力，它提供了卓越的性能，非常適合先進的光刻、MEMS器件和集成電路開發等一系列應用。