二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649534 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高級蝕刻器/asher,具有多種功能,旨在提供精確的結果。這種精確的蝕刻設備采用300毫米、六室設計，符合最新技術，提供最高水平的可重復性和均勻性。TEL INDYPLUS配備了可視化和精密蝕刻的高分辨率成像設備，包括40兆像素數碼成像相機，能以4k分辨率可視化蝕刻過程。五個地方供熱站均勻分配溫度，傳遞均勻蝕刻功率。雙級射頻信號在整個蝕刻過程中產生穩定且可重復的偏置條件。整個環境控制系統，包括空氣處理，也進行了優化，以提供穩定、原始的蝕刻環境。TOKYO ELECTRON INDY PLUS單元以全自動模式運行，使蝕刻工藝更加容易和高效。蝕刻配方的每一步都用測量高度、溫度、氣壓和其他參數的多個光學傳感器進行監控。這樣可以在步長和蝕刻深度上實現精確的重復性。該機還擁有一個真空工具，確保低熱擴散，消除任何溫度偏差蝕刻過程中。Indy Plus 蝕刻器/asher的設計易於安裝和維護。高級軟件套件包括直觀的操作員界面、用戶友好的數據收集技巧,以及用於遠程診斷功能和故障排除的可選遠程訪問。該資產還為不同類型的工藝配方提供了預定義的過程，從而更容易入門並獲得所需的結果。由於其多種特性和能力，TOKYO ELECTRON INDYPLUS 蝕刻器/asher是實現精確蝕刻結果的必備機器。