二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649535 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種蝕刻/asher設備，用於處理半導體和器件應用的先進基板。TEL INDYPLUS能夠高度精確的陣列化過程,並利用高級軟件算法在整個過程中優化蝕刻和灰化過程。TOKYO ELECTRON INDY PLUS系統的設計可處理寬高比蝕刻、底切蝕刻、金屬氧化物半導體蝕刻和表面光滑蝕刻等多種工藝。它具有一個大面積沈積源，與兩個子源和兩個獨立的直流等離子體源並列。這些雙源提供比單源系統更高的產量，使其成為大規模生產的理想選擇。控制TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS的軟件旨在確保在蝕刻和灰化過程中對基板進行完整的控制和精確的圖案。它使用ActiveX SDK對整個蝕刻和灰化過程進行完整的神經網絡控制。這允許基於過程中受監視的反饋進行動態參數設置。此外，INDY PLUS提供了一個直觀的圖形用戶界面，具有易於使用的三步配方編程用戶界面。這使得單位的操作對用戶來說簡單明了。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS包含了許多先進的工藝、安全和安全功能,以最大限度地提高吞吐量並最大限度地降低風險。機載安全機器包括對所有主要工藝室進行獨立的溫度監測。此外，它還包括一個內置的可燃氣體檢測工具，低電壓保護和低流量檢測資產。所有這些功能都是為了確保TEL Indy Plus型號安全可靠地運行。此外,它還包括一個安全的單用戶訪問設備,以防止未經授權訪問系統。總體而言,TEL INDY PLUS是一個可靠且先進的蝕刻和灰化單元,可在整個過程中提供最大效率。憑借其集成的安全和安全功能,Indy Plus是生產和研究應用程序的理想選擇。