二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293663052 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高性能、低維護的蝕刻器/asher，非常適合精密的金屬蝕刻和清潔。它具有緊湊的設計,可提供較小的占用空間、高效的處理時間和大量高級功能。TEL INDYPLUS擁有一個12英寸（300毫米）負載鎖水滴狀的腔室,使其能夠輕松安裝到大多數實驗室和制造設備中。它還具有TEL專有的線性共振磁場（LRMF）技術，提供了更加均勻和精確的蝕刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS的高性能設計也讓它以更高的精度實現更快的處理時間，非常適合大型生產運行。INDY PLUS還提供了多種高級功能，包括低溫兼容性、確保均勻蝕刻的可轉動源葉片支架以及先進的氣體輸送系統。其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）使設置和過程監控變得簡單直觀。此外,Indy Plus還配備了多波長光學端點檢測功能,能夠檢測厚度和厚度變化範圍廣泛的目標薄膜。最後，TOKYO ELECTRON INDYPLUS被設計為TOKYO ELECTRON 「as found, as left」 chamber cleaning methody,允許快速、輕松的清洗，並且不需要單獨清洗人員。這有助於確保高度均勻的蝕刻,並最大程度地減少大型生產運行過程中的汙染。總而言之,TEL INDY PLUS是一款先進且可靠的蝕刻器/asher,能夠以高吞吐量提供精確的結果。它的直觀界面、低維護設計和高級功能使其非常適合各種應用,從半導體加工到計量。