二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款為任何加工項目帶來精度和速度的蝕刻器/asher。該機具有精確度高、吞吐量高的高精度蝕刻工藝.TEL INDYPLUS采用混合電化學（電化學沈積）技術，能夠在低氣體消耗和良好選擇性的情況下實現快速蝕刻。這款蝕刻器/asher專為各種材料的精密蝕刻而設計，包括金屬、絕緣體薄膜和印刷電路板。TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用其微成型技術,具有控制高長寬比特征尺寸到0.2 μ m的蝕刻和沈積的能力。這種通用設備有助於提高流程可靠性和可重復性。Indy Plus還提供了一個用戶友好的界面，使蝕刻過程的設置和編程變得容易。機器的過程選項包括時間和電流控制程序、ADL（自動沈積限制）控制程序以及其他高級控制功能。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS還支持高達16 µm的蝕刻層，包括任意角度、橫縫和階梯式蝕刻。INDYPLUS配備了支持180nm至65nm技術節點兼容性的半導體前端模塊。前端模塊用於堿蝕刻、預圖樣等離子體蝕刻和後蝕刻清洗過程。此功能允許用戶優化直流電壓蝕刻和脈沖RF/DC蝕刻過程。TEL Indy Plus包括一個腔室出口系統，保持腔室清潔和壓力控制。該系統有助於保持穩定的工作溫度和壓力,有助於避免導致蝕刻過程缺陷的因素。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS還有一個先進的真空系統，優化晶圓蝕刻均勻性以獲得一致的結果。自動晶圓級傾斜和旋轉刀具到刀具也可用於提高蝕刻產量。這種蝕刻器/asher具有優越的均勻性、穩定性和薄膜特性，使其成為各種蝕刻工藝的可靠選擇。TOKYO ELECTRON INDYPLUS易於安裝操作；它是一種經濟高效的解決方案,適用於生產線或研發實驗室。