二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670480 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種用於半導體和MEMS器件制造的蝕刻器/asher。TEL INDYPLUS是一種先進的工具,旨在在嚴格的過程控制下蝕刻各種材料,從而實現高通量設備的制造。利用化學蝕刻和物理蝕刻技術的先進組合，TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供了兩全其美，確保了高度精確的結果。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有廣泛的特性，可以與多種材料配合使用。它既支持濕蝕刻又支持幹蝕刻，可以蝕刻金屬、聚合物、矽、氧化鋁、電介質等各種材料。這使其成為經典半導體應用和MEMS制造的理想選擇。TEL Indy Plus配備了廣泛的控件和儀器，以確保精確的蝕刻結果。它能夠精確控制其等離子體腔的溫度和功率，同時也保持穩定的工作環境。此外，它的腔室壓力可以很容易地調整，以滿足不同基板的要求。該工具具有四軸晶圓處理系統,具有高負載能力,可實現最高精度。它包括一種二維掃描模式功能，可用於精確蝕刻復雜的模式，如MEMS結構。此外,它還具有兩個電子噴槍,可以在整個晶圓表面均勻蝕刻.它有一個緊湊的設計，最小化了一個晶圓廠的空間要求，其耐用的結構被設計成經得起延伸使用。此外，它具有較低的底壓，使其能夠快速準確地蝕刻材料，而不會造成汙染的危險。除了低汙染風險外，Indy Plus還擁有易於使用的圖形界面。這允許更高效的操作，接口允許實時數據和設置監控。此外,TEL INDY PLUS能夠與流程中的其他設備集成,從而實現自動蝕刻。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS是廣泛的半導體和MEMS製造應用的理想蝕刻器/asher。TOKYO ELECTRON INDYPLUS具有廣泛的特性和精確的控制,可實現最精確的高通量設備制造。