二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款為先進的半導體制造應用而設計的蝕刻/asher設備。TEL INDYPLUS配備了專門的軟件、組件和功能,在將功能蝕刻和灰化到基板上時可實現極高的精度。蝕刻的第一步是制備基材。TOKYO ELECTRON INDY PLUS將具有可定制的基板支架，能夠在蝕刻前放置和調整芯片的正確定位。這確保了最佳的結果與最小的殘留有毒粉末。一旦基板到位，蝕刻最初是使用傳統的粘性石英或電感耦合等離子體（ICP）工藝觸發的。石英蝕刻過程中，對等離子體配置參數，如氣壓、流量、頻率等進行調整，以允許蝕刻速率最大化。在ICP過程中，調節波的壓力、頻率和形狀，以誘導最高的蝕刻速率。TOKYO ELECTRON INDYPLUS配備了多個高溫氣體噴射器，以優化蝕刻條件。可以對蝕刻和灰化過程進行高級溫度控制,以實現完全自定義的結果。為防止浪費，陷阱系統在蝕刻過程中隔離和處理廢氣，盡量減少對環境的影響。INDYPLUS實時數據日誌記錄可用於所有變量,並且可以下載以供以後查看。蝕刻過程完成後，用幹法或濕法清洗基板。此過程決定蝕刻的質量,並清除不需要的殘留物。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS提供了集成的高級殘留檢測功能,並且可以允許去除基板,也可以在需要時進一步灰化。TOKYO ELECTRON Indy Plus 蝕刻器/asher單元是先進半導體器件制造和蝕刻的創新工具。INDY PLUS具有先進的組件和可定制的選項,是任何高級制造過程中的完美蝕刻器/asher機器。