二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670482 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種蝕刻器，或稱asher，它使特征的精確模式能夠被蝕刻到晶圓/基板上。這種設備是制造半導體、光伏和相關晶圓加工等微電子器件所必需的。它采用電子束抗蝕性制圖工藝對基板進行精確蝕刻，能夠產生任何設計的優質制圖。TEL INDYPLUS利用電子束源對電子晶片進行抗蝕刻。這種設備經過精心設計，以確保高精度的圖樣與最小的失真和像差。為了實現這一點，電子束源被設計成產生一個均勻、穩定的所需能量束。精細聚焦的電子束然後被用來蝕刻一個精確圖案的抵抗膜到晶片上。TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有先進的等離子體蝕刻工藝，可以在基板上形成圖樣。這一過程基於一組獨特的基於等離子體的氣體所促成的平衡化學。這些氣體經過精確混合，以確保蝕刻結果始終是最佳的。這一工藝得到了控制良好的溫度條件的進一步補充，從而實現了蝕刻工藝的最大效率。INDYPLUS的設計考慮到了多功能性和用戶友好的界面。它具有直觀且易於使用的觸摸屏界面,使用戶能夠快速準確地執行許多蝕刻周期。該界面還提供了大量有關蝕刻過程的反饋-從監控過程參數到可視反饋。這使用戶能夠輕松監控每個蝕刻周期的進度。總體而言，TEL INDY PLUS是制造微電子器件和晶圓加工的理想蝕刻/閃光解決方案。這種高精度的蝕刻裝置能夠在任何設計上創建精確的圖樣，並輔之以直觀的觸摸屏界面和平衡的化學反應，以獲得最佳的蝕刻結果。