二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670483 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus蝕刻器是一種最先進的半導體加工工具，設計用於蝕刻、各向異性蝕刻和表面清潔應用。該設備在氧化物蝕刻、S層蝕刻、銅蝕刻和其他高級蝕刻和清潔操作等半導體工藝中提供最大精度和可靠性。其獨特的設計理念將最先進的特性和技術整合到一個完整的單一包中,從而簡化了整個過程並降低了擁有成本,同時提高了效率和成本節約。TEL INDYPLUS由一個緊湊的軟件包組成,旨在輕松集成到現有的清潔室環境中。該系統包括自動化控制、可靠監控和靈活的配置選項。該單元還具有動態壓力控制、高速旋轉、延長射頻功率範圍調節、軟件升級兼容性、簡單配方控制等特點，具有更高的精度和重復性。最先進的蝕刻器配備了高效的氣體輸送機，並提供各種反應性氣體，如SF6、CHF3、CF4、C4F8、O2和Ar。它使用數控靜電卡盤將晶片保持在精確的角度,並在一系列蝕刻和表面清潔應用中提供統一的處理參數。該工具的內部射頻發生器可提供高達600 W的功率範圍,並且可以根據優化的工藝結果輕松調整。添加強大的高壓發電機的選項有助於定制蝕刻配方,以實現最高的效率。TOKYO ELECTRON INDY PLUS蝕刻器還包括離子抑制器、精確溫度控制、目標壓力控制以及3D激光幹涉儀等多種先進功能，以提高精度和重復性。此功能有助於減少晶圓浪費並確保更可靠的最終產品質量。內置清潔劑還有助於清潔加工周期之間的晶片，有助於保持晶片的完整性。TOKYO ELECTRON Indy Plus蝕刻器是一種高度可靠且經濟實惠的半導體蝕刻和表面清潔應用解決方案。它提供了一個多功能的解決方案,能夠滿足最高的處理要求,同時保持較低的擁有成本。該資產可以輕松地與現有的潔凈室自動化系統集成,非常適合高容量和成本敏感的制造過程。