二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293670484 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蝕刻器/asher，專為半導體晶片的高精度、高通量處理而設計。設備為工業級，重型框架，最大剛度和振動阻尼。具有溫度控制技術，閉環控制系統，調制溫度控制。該裝置還設有一個機器人臂，使晶片和工件能夠自動裝卸。蝕刻器/asher在高級PLC軟件上運行,該軟件提供了一個全面的控制單元來管理操作並最大程度地減少生產停機時間。它能夠在晶圓表面± 0.1-0.7um（微米）的範圍內提供過程重復性和準確性。TEL INDYPLUS先進的蒸氣蝕刻技術具有最小化存儲不穩定和創建幹凈表面的能力。該單元設計用於各種蝕刻工藝：它可以處理不同的氣體，提供可變的蝕刻速率，並提供高精度的微觀結構蝕刻。TOKYO ELECTRON INDY PLUS符合EPA標準，具有最先進的減排技術。這些包括低流量和回收系統、等離子體變換和凈化系統以及雙泄漏探測器。它能夠捕獲和儲存汙染物，防止汙染物進入當地環境。該機器包括多種安全功能，旨在最大限度地減少與危險材料相關的風險。TOKYO ELECTRON Indy Plus有備份工具、緊急停止按鈕、無通風資產和自動監控。設備會持續監控其性能級別,以快速檢測任何問題。最後,TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS易於使用和維護.它提供了一個觸摸屏人機界面，允許用戶以最小的努力和時間來設置和控制模型。所有組件也可方便地進行快速維護和保養。