二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293754740 待售
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ID: 293754740
晶圓大小: 12"
Furnace, 12"
Process: TEOS
Atomic Layer Deposition (ALD)
Poly
Nitride
2009-2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一個精密的蝕刻和灰化平臺,為用戶提供高精度和精確度。它有助於創建公差為0.3-2微米的復雜幾何。它非常適合航空航天、醫療和半導體工業。TEL INDYPLUS是一種蝕刻/灰化機,它將兩個過程集成在一起,以獲得最高質量的快速結果。它將蝕刻和灰化結合在一個單一的過程中,並且能夠對多達兩個層次的結構進行陣列化。TOKYO ELECTRON INDY PLUS的高精度和速度可以歸功於兩個主要成分:E-Gun和E-Pod。E-Gun使用高壓產生電弧,在基板上蝕刻和灰化圖樣。另一方面,Electric吊艙加快了工藝速度,有助於將所需的蝕刻和灰燼時間減少相當多。它還有助於減少蝕刻/粉刷圖案中的非均勻性。INDY PLUS還配備了高性能CCD(電荷耦合器件)相機和激光檢測技術,具有高精度的材料控制功能。這確保了高精度和精確度,因為相機能夠檢測到微妙的變化,如非均勻性、扭曲和應力變化。這些特性共同使TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS成為市場上最精確準確的蝕刻和灰化機之一。INDYPLUS也是一臺非常靈活的機器,因為它可以針對包括矽蝕刻、蝕刻金屬、反向蝕刻和浮雕蝕刻在內的一系列應用而量身定制所需的規格。此外,Indy Plus還支持Si、Ge、石英、Al和SiC等各種底物,確保進一步的靈活性。高精度、出色的工藝控制和靈活性使TEL Indy Plus成為航天、醫療和半導體行業用戶的理想選擇。TOKYO ELECTRON INDYPLUS集成了蝕刻和灰化工藝,從而提高了吞吐量,同時消除了許多與手動操作相關的錯誤。經濟實惠的成本和高精度進一步增加了它的吸引力。
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