二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293758842 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高度先進的蝕刻/asher設備，用於生產高元素密度的先進集成電路。該系統基於真空沈積濺射單元，其中使用等離子體將金屬膜蒸發到晶圓表面上。該機特別適合於以當前技術的10倍分辨率創建高精度、超密電路。TEL INDYPLUS采用了多種最先進的技術，包括TEL專有的直接離子濺射模塊（DISM），用於高精度和高寬高比濺射。此外，該工具還配備了許多先進技術模塊和專有軟件包，以支持各種蝕刻過程。這包括Pre-Clean模塊，允許在連續沈積或蝕刻之前清洗晶圓表面；Nano-Lith工藝控制模塊，它對蝕刻工藝提供實時控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS使用多模組資產，允許多種組合和配置。這與用於全自動設備的集成靈活自動化模型（FAS）相結合。為了進一步增加生產多樣性，該系統能夠生產線路寬度為0.1微米（1/10,000毫米）的設備，因此適合4G和5G移動技術等高精度和超低千伏應用。此外，TOKYO ELECTRON Indy Plus還配備了多項內置的安全功能，如改進後的環境控制單元以降低汙染風險，以及低千伏設計以盡量降低發生故障的風險。此外,該機器能夠在所有層上實現卓越的均勻性,同時提供一致、高質量的最終產品,並且能夠打印肉眼無法檢測到的金屬線條。TEL Indy Plus是一款高度先進、可靠且多功能的蝕刻器/asper工具，使其成為用於生產各種集成電路的必不可少的制造工具。INDYPLUS憑借其卓越的蝕刻精度、堅固的安全特性和先進的技術,為集成電路制造提供了全面、用戶友好的解決方案。