二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293821712 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是半導體工業的蝕刻器/灰化器，為半導體器件提供先進的蝕刻和灰化技術。TEL INDYPLUS被設計為高效、精確,提供低於0.5 nm的蝕刻分辨率和大於5 nm的精度。它具有6英寸或8英寸的單個晶片大小，並且可以處理高達450nm的薄膜和臺階。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了機動化的獨立前向和後向橫向級，為對準提供了高精度，提高了重復性。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS利用了一種獨特的蝕刻技術，稱為揮發性有機化合物輔助蝕刻（VOC-ET），這是一種由TEL開發的先進蝕刻技術。VOC-ET技術能夠處理具有垂直側壁和出色蝕刻輪廓的細粒矽和FinFET器件。此外，TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS採用了抽取記憶體相容能力，讓使用者可以輕鬆從以前的裝置中回憶食譜。TEL INDY PLUS還為用戶提供了使用TOKYO ELECTRON專有軟件定制蝕刻和灰化配方的能力。TEL Indy Plus配備了多個工藝室，方便同時和獨立蝕刻和灰化。該工藝室配有無氟氣體混合物輸送設備，其設計目的是盡量減少工藝排放，同時最大限度地提高蝕刻性能。TOKYO ELECTRON Indy Plus還設計了易於維護和經濟高效的操作，配有自動化的介質輸送系統和水冷排氣單元。INDYPLUS還具有遠程訪問功能,允許用戶從中心位置監視和調整流程設置。Indy Plus旨在提供一致、高質量的蝕刻和灰化工藝,同時滿足半導體行業的特定需求。該機器有助於減少與設備和可靠性測試相關的時間和成本,並為高級設備節點提供增強的流程能力。TOKYO ELECTRON INDYPLUS能夠處理多種基材和晶圓尺寸，設計符合生產力和正常運行時間的最高標準。