二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828761 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款為各種半導體應用和工藝而設計的蝕刻器/asher。它是一種小占地面積的單晶片蝕刻/灰分設備,可提供精確、高通量的異構蝕刻/灰分工藝。蝕刻器/asher有一個小的150 mm腔室，可以容納多達100個晶圓，並且能夠對各種材料進行一系列的蝕刻/灰化工藝。TEL INDYPLUS 蝕刻器/asher具有先進的系統設計,可確保整個晶圓上晶圓蝕刻或灰度均勻性的精確過程重復性。TOKYO ELECTRON INDY PLUS 蝕刻器/asher利用電子回旋共振（ECR）等離子體與電子等離子體源提供高度均勻的等離子體蝕刻或灰化。等離子體源的選擇可以從ECR改為標準電感耦合等離子體（ICP）。此外，還可以包括一個先進的壓電執行器和晶圓旋轉選項，以便根據具體要求進一步定制工藝。該蝕刻器配備了高質量的礦物堆積保護裝置，先進的晶片自旋控制確保了高度均勻的離子轟擊，這對於高度均勻的蝕刻/灰化是必不可少的。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS 蝕刻器/asher構建了多種監控功能，其中包括壓力、溫度以及與工藝時間無關的射頻功率調整。這允許進行各種過程，如氧化物蝕刻、納米紋理和選擇性蝕刻或灰化。該機器還具有蝕刻/灰分輪廓的實時顯示,以便於監視過程活動。INDY PLUS 蝕刻器/asher是高度可定制的,可以配置為滿足特定的流程要求。該蝕刻器/asher設計用於最大程度的工藝均勻性和可重復性,非常適合中高批量工藝的生產操作。該工具還與一系列材料兼容，因此非常適合多種工藝應用。