二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828763 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款專為微電子、光掩模和其他薄膜製造工藝而設計的高端、精密的蝕刻器/asher。它能夠使用反應性離子蝕刻（RIE）技術在各種幾何形狀和材料上提供精密蝕刻能力。TEL INDYPLUS具有全封閉的腔室,具有集成的溫度和真空控制功能,即使在難以蝕刻的材料上也能實現可重復和可靠的蝕刻。該系統有一個交互式8英寸彩色觸摸屏,用於控制蝕刻器/ashers操作的各個方面。TOKYO ELECTRON INDY PLUS也有一個高分辨率的光學視口來監視蝕刻過程。TOKYO ELECTRON Indy Plus可以處理廣泛的過程和幾何形狀。它配備了高品質的浮級和能夠微米級定位的三軸系統。Indy Plus還具有自動匹配功能,其中系統將其蝕刻參數與要蝕刻的材料相匹配。這樣可以最大限度地提高蝕刻材料的質量,同時最大限度地減少浪費。此外,它的現代設計允許輕松訪問困難的拐角和曲面。TEL Indy Plus提供卓越的安全功能,確保最大限度地保護人員和材料免受蝕刻過程中產生的有害氣體和熱量的影響。INDY PLUS還提供了先進的聯網和通信功能,能夠對過程進行遠程控制並與現有生產網絡集成。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS將為您提供多種材料類型的蝕刻和清洗工藝選擇,如光掩模、聚酰亞胺、SiN/SiO2和金屬。這些工藝是專門為微電子和MEMS應用而設計的，可以處理範圍很廣的晶圓尺寸達200毫米。TEL INDY PLUS是高精度、高品質、可重復生產效果的理想蝕刻和粉碎機。