二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828764 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款最先進的蝕刻器/asher，設計用於在單個晶片和批次蝕刻應用中實現精確的光刻和蝕刻技術。TEL INDYPLUS能夠對任何厚度達32 nm的材料進行高分辨率蝕刻。它具有廣泛的功能,可根據不同的流程需求進行定制。它可以針對不同的工藝參數進行配置,例如基本壓力、壓力平衡、硬度、速度、功率和溫度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS有一個電腦控制的設備設計，可以對整個過程進行精確的控制。通過使用其內置軟件，用戶能夠調整各種參數，比如材料厚度、工藝速度、氣體壓力等等。這種精度為用戶提供了嚴格的重復性和改進的過程控制。作為一個附加的特點，系統還可以進行濺射、抗條、氧化物沈積等光刻。Indy Plus設計為在單個晶片或批處理模式下運行。在單晶片模式下，該單元允許一次均勻蝕刻一個晶片。這樣可以實現快速高效的蝕刻過程。在批處理模式下，機器可以一次蝕刻多個晶片。此功能可提高吞吐量,並在光刻過程中提供更大的靈活性。INDYPLUS提供多種選項,例如可選的額外燃氣箱、閥門和傳感器。這些附加功能可用於進一步控制流程性能,使用戶能夠微調所需的結果。該工具還有一個完整的食譜庫，以適應不同的蝕刻技術，從氧化物蝕刻到幹濕蝕刻。TEL INDY PLUS的設計具有高度的通用性和用戶友好性,使其成為各行業用戶的熱門選擇。從精確度到定制能力，INDY PLUS是任何蝕刻或光刻需求的理想解決方案。憑借其多種功能和選項,用戶一定能通過TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS的蝕刻或光刻工藝獲得最佳效果。