二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828765 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用於半導體制造的高級蝕刻器/asher。它是一種先進的工具，旨在為半導體制造提供準確、可重復和可靠的蝕刻和灰化步驟。它由強大的等離子體源、機械臂運動和便於裝卸樣品的負載鎖室構成。等離子體源被設計為產生一個能夠進行氧化物、氮化物和多晶矽蝕刻的均勻等離子體。其機械臂能夠通過反饋回路進行精確的樣品處理，以保持樣品放置的準確性。TEL INDYPLUS的載荷鎖室為載荷晶片提供了一個高效、經濟的解決方案。它具有兩個可交換晶圓冷卻級和一個內部氣體混合單元，可以提供多種氣體，以滿足特殊的蝕刻/灰化要求。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有快速響應氣場效應晶體管（FET）監測系統，可以連續監測氣體濃度，以實現最佳工藝控制。TEL INDY PLUS由完全實現的配方支持,這些配方用於控制和執行蝕刻/灰化階段。它還具有一個數據管理系統,可以監視、存儲和存檔所有數據,以便將來進行流程分析。此外,Indy Plus還支持各種專業工具,以進一步增強流程控制。這些工具包括一個小盒氣體劑量裝置、用於沈積速率控制的集成下遊傳感器和一個射頻等離子體發生器。INDYPLUS是半導體制造中一個非常有價值的工具，因為它旨在以最小的輸入提供最大的輸出和產量。其強大的設計和高效的操作使客戶能夠快速生產具有較小足跡和高產率的優質集成電路。此外，其用戶友好的界面和全面的多功能性使得它適合各種尺寸的FAB，從小到大。TEL Indy Plus是一款技術先進的蝕刻器/asher，可為半導體制造應用提供精確的蝕刻和灰化解決方案。它具有強大的設計、高效的加載以及全面的過程控制和數據管理功能,是業界非常有價值的工具。