二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828767 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高度先進的蝕刻/asher設備，設計用於精密材料去除和介電膜沈積。該系統提供了廣泛的應用，從半導體器件的基本蝕刻/摻雜/沈積，到高級包裝設計中用於銅線圖樣的高端等離子體蝕刻。TEL INDYPLUS單元提供高速度和精確度,可實現高度可重復的結果。TOKYO ELECTRON INDY PLUS機的核心是觸摸屏PC，它容納了構成數據采集和控制工具的硬件組件。這款觸摸屏PC配備了先進的流程控制軟件，使用戶能夠快速輕松地為手頭的應用程序配置精確的參數。PC還包括多項安全功能，如專家級用戶的自動化培訓模式、實時監控等等。INDYPLUS資產可以配置各種工具,具體取決於當前的流程。提供兩種類型的蝕刻器,即Toggle蝕刻器和Side蝕刻器。這兩種蝕刻系統都提供了若幹可編程的軌道和垂直運動，從而能夠精確控制蝕刻速率、選擇性和均勻性。此外,Side蝕刻器可在單個通道內進行高達1000 um深的蝕刻。對於幹蝕刻,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS型號提供了先進的氣流控制器,可對所有蝕刻氣體進行快速、精確的流量控制,以及用於快速報警響應和反饋的警報報報器。此外，等離子體室還配備了先進的射頻驅動功能集，控制氣體成分、濃度、壓力和流量，以提供高精度蝕刻剖面。為了提高吞吐量，設備包括自動晶片裝卸，晶片對晶片處理時間不到10秒。對於薄膜沈積應用，Indy Plus系統提供了過濾真空弧、濺射陰極、蒸發源等多種沈積源。這些來源帶有可調的輸出，適用於多種材料，從金屬到聚合物和有機材料。此外，板載源監測單元允許對沈積過程進行全面控制和反饋。高性能硬件、靈活軟件和多種強大工具的結合，使得TOKYO ELECTRON Indy Plus成為廣泛蝕刻沈積應用的理想解決方案。無論您是專家用戶,還是需要基本的蝕刻/摻雜/沈積功能,TOKYO ELECTRON INDYPLUS機器都能提供快速、可重復的結果,同時允許復雜的過程開發和優化。