二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828769 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種在半導體工業中廣泛使用的用於先進基板加工的蝕刻器和asher設備。該系統能夠執行深層反應性離子蝕刻（DRIE）、幹蝕刻和等離子體蝕刻等蝕刻過程。它還能夠灰化，用於去除副產品和基板表面任何其他有害材料。TEL INDYPLUS單元是一款先進的等離子體蝕刻器，旨在減少時間和成本，同時確保高質量和可靠的蝕刻工藝。它是一個結合了真空室、氣體控制工具、基板加熱單元和等離子體發生器的集成機器。資產由TOKYO ELECTRON INDY PLUS蝕刻器和Indy Asher兩部分組成，能夠處理直徑達200毫米的底物。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS蝕刻器具有高精度電容耦合射頻激發源；這樣就可以有效地生成穩定和均勻的等離子體，從而產生可靠和可重復的過程結果。該型號還配備了先進的數字控制處理器，允許對蝕刻過程進行精確、可編程的控制，如蝕刻深度、形狀和輪廓。Indy Asher采用快速可靠的灰化工藝，旨在去除基板上的有機、金屬和無機材料。Asher能夠快速清潔表面，具有優於傳統Ashing技術的精確度和重復性。它在等離子體腔內提供均勻的溫度分布，允許均勻蝕刻速率。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS設備配備了多項功能，提高了工藝效率，提高了蝕刻和灰化工藝的效果。它提供了對壓力、氣流、溫度和射頻功率的嚴格控制，因此用戶可以準確優化其處理參數，輕松重復設置條件。該系統還設有一個氣體管理單元，以確保有效供應蝕刻和灰化過程中使用的氣體，以及一個用於實時監測過程的集成遠程監測顯示器。TEL INDY PLUS機是一款先進可靠的蝕刻和灰化工具，旨在為客戶提供高精度、可重復的基板加工。它非常適合在一系列半導體行業中使用，允許用戶在一小部分時間內實現改進的工藝結果。