二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828773 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款面向半導體器件制造的蝕刻器/asher，專為卓越的分辨率和效果而設計。TEL INDYPLUS是一種50瓦等離子體輔助Si基蝕刻器/asher，使用低濃度的氯氣作為蝕刻劑。該設備有兩個獨立的離子源，經過優化，可以在正負光刻機上提供卓越的蝕刻工藝。蝕刻源采用快速熱氧化源，旨在消除低頻漂移，提供更高的吞吐量。此外,TOKYO ELECTRON INDY PLUS還包括各種專門為解決半導體器件制造中常見挑戰而設計的功能,包括邊緣粗糙度、降噪、基板均勻性和整體尺寸精度。此外,INDYPLUS利用獨立的反饋控制系統來確保精確的蝕刻速率和參數。此功能允許精確的模式控制,減少了對其他叠代或流程步驟的需求,並顯著提高了流程的可重復性。該單元配備了先進的算術曲線擬合特性，便於根據任何工藝要求精確創建可跟蹤、無縫的蝕刻圖樣。INDY PLUS利用高端的PECVD工藝來創建粘附並保護底層底層的薄膜層。該工藝采用等離子體增強的低頻CVD（LFCVD）反應器，能夠產生具有均勻階梯覆蓋率和良好附著力的高質量塗層。加上先進的光學機器，這允許生產各種具有復雜特征和緊密公差的器件結構。此蝕刻器/asher還附帶一個高級工具集,用於對蝕刻和灰化過程進行實驗和自定義。此外,還可以配置多個泵以實現廣泛的蝕刻和灰化功能,包括順序蝕刻和遠程灰化。這些特點，加上出色的工藝控制和可重復性，使Indy Plus成為半導體器件制造的理想蝕刻/灰度解決方案。