二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828774 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款半自動、緊湊的蝕刻器/asher設備，旨在滿足半導體行業內的各種蝕刻和灰化需求。它具有高達40個循環/小時的自動蝕刻和灰化速率,用於蝕刻和長達16分鐘的整個灰化循環時間,並支持多種基板,包括矽片、平板顯示器、鋁金屬化層和互連。系統重約950公斤，整體單位足跡約1200 × 1100毫米。操作員將能夠通過支持Windows和Linux的計算機訪問計算機。操作工具是TEL開發的專有軟件。TEL INDYPLUS由一個開放式卡式裝載站、一個機床、一個灰化室、蝕刻室、資產控制和氣體面板組成。開放式卡帶裝載站作為包含多達25個基板的卡帶的自動裝卸中心。機床位於盒式磁帶的右邊，裝有模型的所有基本部件。這包括射頻發生器、氣板、氣線、負載鎖和真空泵。蝕刻室位於機臺正下方。它具有自動的底部提升卡帶裝載設備，允許操作員在蝕刻過程中精確控制基板位置。它還擁有雙RF供應商，具有鎖載能力，進一步提高處理時間。灰燼部分裝有專用石英管的灰燼室。該系統能夠快速灰化,有助於最小化處理時間。它還有一個有效的背面排氣裝置，確保基板正確粉碎。該機還配備了壓力傳感器、排放監測器、泄漏檢測系統等多種安全功能。此外,它還與標準的晶片處理工具和附件（如探針、散熱器、手套、針腳和石英船）兼容。TOKYO ELECTRON保證了TOKYO ELECTRON INDY PLUS工具極其人性化和高效，使其成為全球許多半導體公司的熱門選擇。