二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828775 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用於半導體晶圓制造工藝的先進蝕刻器/asher。它是TEL公司生產的一系列蝕刻設備中的最新產品。這臺機器能夠處理300毫米和200毫米晶圓的蝕刻和灰化工作。其先進的特點為關鍵集成電路工藝步驟提供了可靠的解決方案。該機配備了高效的陶瓷射頻室，提供了更好的蝕刻選擇性、精度和均勻性。它還有一個負載鎖和工藝盒，這意味著晶圓可以在不暴露於環境的情況下裝載到設備上，確保材料的純度。它的過程氣體輸送系統也連接到濕式臺階上，以實現高效的氣體輸送和溫度調節。它還具有高分辨率的攝像頭，具有圖像捕捉能力，用於晶圓檢查，以防止工藝缺陷。TEL INDYPLUS解決方案還融入了公司動態臭氧清除裝置（DORS）技術。機器過濾掉蝕刻過程產生的不需要的臭氧氣體，使其不僅更安全而且更高效。其自動量規和原位計量控制工具在縮短過程周期以及確保集成電路技術節點陣列的產品質量方面也是有效的。該資產由一個用戶友好的界面控制，可以方便地設置和維護機器。它還可以配置可選的自動化設備,為定制生產需求提供更輕松、更簡單的操作。該模型為流程優化的故障排除活動提供實時數據，同時還帶有直觀的維護模式，允許快速實施預防性維護例程。總體而言，TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一種先進的蝕刻器/asher理想的半導體織物。其最先進的功能旨在確保可靠的工藝結果,並具有最大的材料純度和出色的設備生命周期正常運行時間。該系統易於維護,經濟高效,並具有多種自動化功能,可順利執行集成電路生產過程。