二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293828776 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款先進的蝕刻器/asher，旨在提高生產力和減少浪費。該裝置是一種大型蝕刻器/灰化器，適合各種半導體制造工藝的需要。它具有高精度的蝕刻/灰化工藝，具有優異的耐熱性和均勻性。該蝕刻器/asher能夠從納米晶片加工到大型面板晶片和其他高精度零件。獨特的設備設計支持高性能蝕刻/灰化過程,並允許快速循環。TEL INDYPLUS通過其PID（比例積分導數）過程提供高級溫度控制。這樣可確保在多個批次之間進行一致的蝕刻/灰化過程。其幹泵可確保真空汙染的最小值,並確保用戶的安全。該裝置還有一個氣體雜項系統，允許使用多種氣體，如N2、O2、CF4、HCC、NF3、CHF3、Ar、C4F8和O3。這允許蝕刻器/asher處理許多特定於用戶需求的不同蝕刻/灰燼過程。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS通過其強大的基於PC的控制單元提供高精度的過程控制。這允許用戶創建自定義配方、管理用戶配置文件以及控制蝕刻/ashing過程的各個方面。機器還提供有關蝕刻/灰化過程性能的實時信息和分析。這有助於操作員快速診斷任何問題並采取糾正措施以提高流程的性能。INDYPLUS包括一個用戶友好的圖形用戶界面（GUI）。GUI為用戶提供了一系列功能,例如調度、監視和設置蝕刻/ashing進程。該軟件易於使用，可以保存各種用戶定義的進程。該設備還提供了一系列診斷工具來分析流程參數並檢測任何潛在問題。總之，INDY PLUS是一種先進的蝕刻器/asher，具有一套出色的特點，以提高生產力和減少浪費。其強大的PID控制過程可確保在多個批次之間進行一致的蝕刻/灰化過程。它的幹泵減少了真空汙染，其氣體混溶工具允許使用多種氣體。該設備還包括一個用戶友好的圖形用戶界面和一系列用於分析流程參數的診斷工具。所有這些特性使得TOKYO ELECTRON INDYPLUS成為半導體制造成功蝕刻/灰化工藝的理想選擇。