二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9179439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種蝕刻器，又稱asher，用於半導體研發。設備是完全自動化的，並提供高度的過程控制，以確保可重復操作和質量。TEL INDYPLUS具有高級控制能力和高吞吐量,可支持多種蝕刻方法。該系統旨在讓研究人員直接修改工藝條件，以優化各種材料和裝置結構的蝕刻配方。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供卓越的溫度控制，包括一個高容量的熱卡盤，保持穩定的工作溫度以最大限度地提高精度。該單元有一個數字智能計時器，具有可編程的分辨率和對蝕刻過程的控制，給用戶更大的靈活性和精確度。TOKYO ELECTRON INDYPLUS以六個氣體入口為特色，具有在廣泛的蝕刻應用中優化多氣體化學和工藝條件的能力。TEL Indy Plus設有專用氣體輸送機，用於管理蝕刻過程中使用的氣體數量。這種氣體輸送工具可以通過Web瀏覽器界面進行遠程監控和調整。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS還提供壓力、溫度、流量等關鍵蝕刻參數的實時趨勢跟蹤，以最大限度地提高工藝可靠性。TEL INDY PLUS蝕刻器已設計為與各種基板尺寸和加載配置兼容。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有大容量負載鎖和每次運行最多六個負載插槽，可以對大小晶圓運行進行縮放。資產還具有各種安全聯鎖、警報和監測技術，以確保在任何研究環境中的安全和高效運行。它旨在最大程度地減少停機時間,並為成功且可重復的處理應用程序優化工作效率。INDY PLUS是一種可靠、高效的蝕刻模型,它提供完整的過程控制以提供一致且可重復的結果。設備完全自動化和高度可擴展性，旨在滿足各種研發實驗室的需求。Indy Plus采用先進的數字智能計時器和先進的氣體輸送系統，是蝕刻工藝的最佳選擇。