二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9211650 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款靈活、最先進的客戶端工藝蝕刻器。它有效地蝕刻/分解各種層壓板、基板和金屬，用於制造微電子學和其他應用。它具有多種工藝和材料功能，包括廣泛的基板尺寸、多種工藝組合、易於使用的用戶界面，並配備了高保真分辨率的串聯攝像頭設備。TEL INDYPLUS提供了TEL高級蝕刻設備中最廣泛的工藝範圍。此範圍包括等離子體蝕刻、蝕刻、濕蝕刻和圖樣。該工具還具有靈活性，可以容納從0.25微米到5微米的各種系統層壓板和基板。基板蝕刻能力對經常使用高分辨率圖樣的微電子制造商特別有利。易於使用的用戶界面為用戶提供了對蝕刻過程各個方面的全面控制。它允許參數調整和重復進程的運行。MaxVUE工具庫提供對廣泛的時鐘選項、脈沖寬度和RF能力的訪問,這些功能有利於需要完善的模擬。串聯攝像機單元使用戶能夠實時查看每個蝕刻零件，以及光學測量蝕刻過程。這有助於確保在生產過程中保持Critical-Dimension （CD）控制。這進一步簡化了蝕刻過程，並允許用戶監控整個基板的進度。TOKYO ELECTRON INDY PLUS工具的高級診斷包括一個多點等離子體探針，使CD在整個晶片上進行測量和驗證。該工具還能夠檢測蝕刻速率是否保持在預設公差範圍內。TOKYO ELECTRON INDYPLUS非常適合各種蝕刻需求。它易於設置和操作，其廣泛的工藝能力使其成為微電子制造和其他工藝控制應用的理想選擇。串聯攝像機、高級診斷程序以及全面的材料和工藝選項使其成為滿足各種蝕刻需求的可靠選擇。