二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9229580 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款專為高生產率和可靠性而設計的最先進的蝕刻器。作為蝕刻設備的領先廠商之一，TEL以提供性能優越的高品質機械而聞名。TEL INDYPLUS的生產重點是提供快速的吞吐量和可靠的運行。TOKYO ELECTRON INDY PLUS是一款高度通用的蝕刻器。它可用於使用單步或多步蝕刻技術創建具有精確特征大小控制的超細高縱橫比結構。它設計用於深度反應性離子蝕刻（DRIE）和幹蝕刻等非接觸過程。這臺機器還能夠對具有高長寬比特征的基板進行高精度圖樣繪制，並實現大體積薄膜沈積。其真空兼容性非常適合納米光刻工藝。TEL Indy Plus配備了先進的安全功能，確保運營商安全的工作環境。它有一個內置的電壓監測設備，以防止電擊。還有一個低維護、噴嘴式的疏散閥，以保持適當的真空水平。此外，保護罩可以通過按下按鈕操作，讓操作員在機器運行時保持手的自由。INDYPLUS利用高級工藝能力提供卓越的蝕刻性能。它的腔室效率很高，使得蝕刻過程可以用較少的能耗完成。該腔室還為廣泛的加工窗口能力而設計，使用戶能夠靈活地使用各種基板進行操作。此外，先進的控制系統為蝕刻工藝提供了精確的實時控制。溫度控制單元還允許精確控制蝕刻參數，如壓力、流量和射頻電源。TEL INDY PLUS為用戶提供了擴展的蝕刻一致性、可靠性、吞吐量和沈積控制。它是許多蝕刻相關任務如SOI應用、Ni納米線應用、穿孔和切斷/鈍化、PZT/鐵電蝕刻、MEMS/NEMS蝕刻、納米挖溝等的熱門選擇。這臺機器非常適合希望以優異的效果執行高級蝕刻過程的用戶。