二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9250264 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是之前光刻的高性能蝕刻器/asher。它是為了有效地從矽或復合半導體晶片中除去氧化物層，同時也能夠剝離抗蝕層。TEL INDYPLUS在設計時考慮了各種特性，例如晶片頂部和底部表面的均勻性，能夠控制灰分性能而不會造成顆粒汙染。TOKYO ELECTRON INDY PLUS有一個直接回流的自上而下的雙頻等離子體源。這種設計使得晶圓的上下表面具有均勻的蝕刻效果，從而帶來更好的吞吐量和更高的精度。產品配備了先進的晶圓級工藝控制系統，可實現精確穩定的蝕刻和灰化性能。此外，還有一個嵌入式的反應室內壓力和溫度監測系統。反應室具有獨特的電源系統，可用於各種蝕刻/灰化過程。這允許用戶為不同的工藝用途選擇所需的等離子體功率，如蝕刻層或薄膜、表面清潔和去除殘留物。此外,TEL INDY PLUS具有內置的安全功能,可防止事故和死亡,並減少對產品造成的任何潛在損害。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS還附有低壓、低功率、定時控制的加工氣體輸送。這樣可以確保在蝕刻/灰化過程中不會損壞晶片。它可以高效處理各種各樣的底物，表面上沒有殘留物。它還具有快速穩定的蝕刻和灰化參數匹配，以適應用戶的需求。最後，Indy Plus是一種適用於矽和復合半導體晶片的通用、高效的蝕刻器/灰化器。憑借其強大的等離子體源、直接回流的自上而下的設計，以及內置的安全特性，可以提供一致、統一的結果，具有很高的精確度。