二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9254679 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus蝕刻機是一種先進的asher技術，設計用於各種基材加工技術，包括等離子體蝕刻、幹蝕刻、ashing和離子銑削。該設備采用高精度運動和射頻功率控制相結合的方式,在廣泛的蝕刻應用和材料中提供卓越的蝕刻效果。為各種真空技術配置了多個加工室，能夠處理尺寸達300毫米的大型基板。該系統具有晶圓溫度、射頻功率、氣體壓力、氣體流量和蝕刻壓力的精確控制功能。這樣可以確保出色的質量和均勻的蝕刻輪廓。該裝置采用獨特的雙葉片升力電機機構，結合專有壓力和氣流控制，非常適合敏感、高分辨率的蝕刻作業。其高效的氣流配置保證了均勻的蝕刻覆蓋面和隔離區域，具有很高的可重復性。與其他蝕刻系統相比，該機具有非常低的流速公差和改進的工藝均勻性，可以蝕刻厚膜和薄膜，從而實現精細的定義和更整潔的蝕刻。內置快門還能確保最大程度的過程控制，使其適合敏感應用。此外,TEL INDYPLUS蝕刻器非常靈活,提供了一套全面的功能,可在各種蝕刻輪廓中優化蝕刻過程。它提供了廣泛的真空工藝技術，包括單室和多室蝕刻，並允許在蝕刻過程中改變氣體混合物的地址。TOKYO ELECTRON INDY PLUS蝕刻工具也是高效率的，為底物加工作業提供了更快的吞吐量和更快的周轉。其高性能使其非常適合短期生產運行或原型制作工作。它的模塊化設計允許蝕刻器交換工藝室而不會幹擾任何其他工藝組件的位置,從而為生產工藝提供高效的設置。總體而言，TOKYO ELECTRON Indy Plus是一個高度先進的蝕刻資產，提供非常精確的蝕刻參數控制，在各種基材上提供質量的蝕刻結果。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS蝕刻器具有可靠的性能、廣泛的工藝技術和高效的工藝控制,是蝕刻應用的理想選擇。