二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9261886 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款最先進的工業級幹蝕刻設備,旨在提供卓越的蝕刻精度、吞吐量和擁有成本。該系統用於半導體模具和其他器件的深層通風、溝槽填充和橫向蝕刻。它具有先進的腔室設計，允許先進的等離子體技術和優越的工藝可重復性。該裝置能夠支撐廣泛的加工窗口，包括：氧化物、聚矽、氮化物、對苯二酚/帕裏、濺射和化學氣相沈積。微加工室是完全自動化的，具有多層次的高科技觸摸屏控制和集成配方編程機。TEL INDYPLUS建立在最新技術之上，包括高分辨率、高壓室、高溫晶圓基板支架和先進的熱處理爐。它還具有閉環氣體輸送工具，有助於促進清潔和一致的蝕刻過程。激光光束剖面儀（LBPP）資產允許高度精確的蝕刻，具有精確和均勻的整個表面深度控制。TOKYO ELECTRON INDY PLUS還利用先進的光學反射計（ORP）和優化器（OQP）系統，為用戶提供有關蝕刻工藝質量的詳細信息。此外，TEL INDY PLUS型號還設有集成診斷設備，有助於實時識別系統錯誤。此診斷單元可幫助操作員和工程師快速準確地識別流程問題。INDYPLUS蝕刻機的性能提供了精確度和精確度的極致水平，允許精確且可重復的蝕刻結果。它是單層和多層蝕刻的完美工具,是需要業界領先的準確性和一致性的客戶的理想蝕刻資產。