二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9267594 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蝕刻器/asher，專為執行各種各樣的晶圓處理任務而設計。它具有幫助創建各種基於晶圓的設備的功能。它采用幹蝕刻工藝，使其能夠有效地蝕刻矽、氧化物、氮化物、金屬和聚合物等各種材料的層。其各向異性蝕刻速率保證了層厚度的精確控制。蝕刻器/灰化器也被設計用來減少化學尾巴和均勻模式在即使是最大的區域。蝕刻過程在全自動、高度可控和低溫的環境中完成。設備由蝕刻室、泵室、氣箱和排氣系統組成。腔室加熱至目標溫度，氣體混合物送入蝕刻腔內。然後根據需要調整腔室中的溫度，以保持整個過程的一致蝕刻過程。壓力和流量也可以在過程運行過程中進行調整,從而可以精確控制蝕刻速率。TEL INDYPLUS還采用了幹蝕刻方法,從而無需額外的濕工藝。這為制造商節省了成本,並帶來了環境效益。此外，由於無需等待濕蝕刻循環完成，因此加速了制造過程。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了包括自動監控單元在內的多種安全功能。這臺機器允許實時監控蝕刻過程，在出現異常情況時會提醒操作員。此外,Indy Plus還允許對制造過程進行完整的可追蹤性,允許客戶查看整個過程中使用的蝕刻過程、材料和參數。這樣可以精確跟蹤流程,確保達到最佳質量標準。總體而言,INDYPLUS是一款可提供精確、可靠性和便利性的蝕刻器/asher。它的自動化特性使其能夠生產出一致且質量最高的高度精確和精確的基於晶圓的產品。其安全特性也使其成為用於制造各種基於晶圓的設備的理想蝕刻器/灰化器。