二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9315271 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用於半導體制造的蝕刻器/asher。它是基於包含多個腔室和晶圓傳輸系統的工藝模塊平臺的高級蝕刻平臺。TEL INDYPLUS模型可以作為一個asher和蝕刻器，可以用不同的參數操作，以匹配半導體器件精密蝕刻加工的各種需求。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供100 mm的高通量處理,熱運行到850℃,輸出範圍從50-350W。這樣就可以在所需溫度下最佳利用基板生產。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS在表面也有+/-43.5 nm的目標底物均勻性。它具有自動互鎖和安全功能，包括監視晶圓溫度的光學傳感器、高分辨率背景監視器和防護罩，以保護人員免受潛在輻射和其他危害。TOKYO ELECTRON Indy Plus利用CVD蝕刻技術。該技術用於蝕刻矽、氧化物、氮化物等材料的薄膜層。它能夠產生具有單一掩模的高分辨率、深而均勻的溝槽，以及從晶圓到晶圓的可重復結果。TEL INDY PLUS有幾個專門的流程。它能夠用單分散清潔工藝捕獲顆粒輪廓，通過等離子體增強工藝改進光刻圖樣制作結果，並對表面進行退火以減少蝕刻損傷。INDY PLUS還提供了一個氣體輸送系統，允許快速的過程設置和穩定的蝕刻過程。TEL Indy Plus可以處理不同的晶圓大小和類型。它能夠加工直徑不超過200毫米的基板，最大晶圓重量為1.5kg。它還能夠處理敏感性和昂貴的基材，如藍寶石和氧化物晶片。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS還有一個石墨級和卡盤用於降低溫度變化，一個低泄漏、低壓載流子，以及一個用於過程控制的射頻發生器。INDYPLUS具有出色的工藝質量能力。具有旁路頻率控制、限頻控制、示波器功能等特點。它還提供了一系列用於改進成像的光源配置,以及用於檢測線寬變化、蝕刻速率變化和汙染的復雜視覺軟件。Indy Plus 蝕刻器/asher是一款功能強大的高級蝕刻處理器,用於半導體器件的精密蝕刻處理。它能提供快速可靠的蝕刻最細膩和困難的基材。TOKYO ELECTRON INDYPLUS是矽、氧化物、氮化物、HF、CF和光致抗蝕劑等蝕刻工藝的理想選擇。它具有高吞吐量、高分辨率蝕刻和均勻性、各種基板尺寸和類型、氣體輸送系統以及改進成像的精密視覺軟件等一系列功能。