二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353223 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款由TEL（TOKYO ELECTRON）製造的蝕刻器/asher設備，專為高端、全面生產電子裝置而設計。它非常適合物理氣相沈積（PVD）和各種材料，特別是半導體材料和有機材料制成的器件的蝕刻。TEL INDYPLUS具有雙源系統,允許同時塗覆基板兩側。使用此功能,用戶可以確信設備的兩側都將滿足所需的規格,而無需執行單獨處理兩側的其他步驟。TOKYO ELECTRON INDY PLUS還具有多種配方，可以很容易地預先編程和保存，以備將來使用。這樣可以準確地重復化一致設備生產所需的蝕刻參數。TOKYO ELECTRON INDYPLUS采用了久經考驗且值得信賴的同步腔室蝕刻技術，確保在整個基板上均勻蝕刻。這樣可以確保將蝕刻材料中不需要的殘留物保持在最低限度,並減少由於雙面蝕刻技術所需的蝕刻時間。此外,設備中的Advanced Process Control （Advanced Process Control, APC）功能可讓用戶完全控制蝕刻過程,從而允許對諸如壓力、壓力梯度、腔室溫度和溫度梯度等蝕刻變量進行有意調整。這臺機器為後蝕刻加工提供了多種選擇，包括利用濕洗和幹洗工藝來微調飾面。其他功能如提升銷和高縱橫比挖溝也可用於進一步完善。INDYPLUS還內置了互鎖和真空警告工具等安全功能，在真空超過某些預設水平時會提醒操作員。總體而言,TEL Indy Plus是高端生產電子設備的理想資產。它可靠且高效,它提供了多種功能,可以一次又一次地優化和重復生產這些設備。