二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9353402 待售

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ID: 9353402
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Furnace, 12" CIM: SECS GEM Process: SIBCN KHI Handler system Factory interface: (4) FOUPs Option: RCU 208VAC UPS 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款高級蝕刻器/asher解決方案,旨在為制造商提供高性能、經濟高效的加工和制造能力。TEL INDYPLUS能夠處理各種行業的各種材料和組件。從半導體到制藥,TOKYO ELECTRON INDY PLUS的精確設計允許進行詳細、可重復的蝕刻/灰燼工藝,保持異常的一致性和準確性。TEL Indy Plus配備了高精度線性執行器技術和最新的行業領先的過程控制系統,如TEL自動化設備。該系統使用戶能夠通過安全的互聯網連接從任何位置監視和控制其流程。該單元還能夠分析數據、跟蹤性能和自動化流程,以減少處理時間和錯誤。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供高端吞吐量和精確度。蝕刻/灰分工藝由一臺功能強大的低分貝渦輪分子泵機管理,該機能夠精確控制蝕刻/灰分工藝,確保該工藝高效完成並具有可重復的精確度。TEL INDY PLUS的內置濕度和氣流傳感器確保所有組件和材料都能按照過程所需的精確參數進行處理。為了安全和方便起見,TOKYO ELECTRON Indy Plus使用緊急停止工具,在任何意外緊急情況下自動停止蝕刻/灰燼過程。Indy Plus還利用保護窗蓋提供了一層針對等離子體和反應物氣體的防護。TOKYO ELECTRON INDYPLUS還提供多種蝕刻/灰燼模式,包括AUTO模式,該模式更密切地監視蝕刻/灰燼過程並允許優化性能,以及手動模式,以增加定制和控制。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS還配備了多種處理輔助工具,包括Recipe Makes Life EASY (RMLE)資產,它允許用戶存儲各種蝕刻/灰燼工藝以備日後使用,以及確保蝕刻/灰燼操作盡可能高效發生的Time-rated (T)模式。總體而言,INDY PLUS是一種高級蝕刻器/asher解決方案,旨在為制造商提供高性能、經濟高效的加工和制造能力。INDYPLUS利用先進的線性執行器技術、過程控制系統以及一系列蝕刻/灰分模式和處理輔助工具,是尋求先進蝕刻/灰分解決方案的用戶的絕佳選擇。
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