二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9358355 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種經常用於濕蝕刻和幹蝕刻工藝的蝕刻器/asher。TEL INDYPLUS是一種3區設備，有兩個工藝室和一個中轉室，每個工藝室都有一個獨立的等離子源和可疏散快門。TOKYO ELECTRON INDY PLUS非常適合研究和行業設置，可用於加工尺寸達200毫米的底物。TOKYO ELECTRON INDYPLUS的過程控制系統可以方便地設置和切換蝕刻配方。該單元與許多不同的氣體兼容，允許多種蝕刻工藝，包括濕蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、金屬蝕刻、內層蝕刻和晶圓背面蝕刻。蝕刻工藝還可以定制創建定制的工藝條件，如腔室壓力、等離子體功率、工藝時間和氣流。Indy Plus還具有可編程快門，允許用戶將基板與蝕刻條件相關聯。這允許用戶根據基板特性優化蝕刻工藝，如介電常數、厚度、材料種類等。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS具有溫度控制功能，允許在蝕刻過程中進行溫度維護。這樣可以精確控制工藝溫度,有助於確保一致的蝕刻結果,最大程度地減少材料的變化。TEL Indy Plus具備良好的兼容性和流程監控能力。該機兼容TEL TEM控制器，提供蝕刻質量的過程中監控，如蝕刻速率。此外，INDY PLUS支持晶圓傳輸協議，允許將基板轉移到腔室外進行蝕刻後分析。最後,INDYPLUS專為安全而設計,具有遠程緊急停止按鈕和防漏快門設計。TEL INDY PLUS是一種高級蝕刻器/asher,可提供可靠的蝕刻結果、過程控制和過程監控。它的多功能性使得它成為許多研究和行業應用的寶貴工具，從濕蝕刻到晶圓背面蝕刻等等。憑借其先進的安全功能,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS是一個工具的強國,適合那些希望精確和可靠地進行蝕刻的人。