二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375629 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款蝕刻器/asher，具有許多特性，使其非常適合半導體制造行業的各種應用。它旨在為半導體制造提供高效的蝕刻和灰化工藝。它是一種多站蝕刻器/灰化器，可用於物理/化學蝕刻和灰化，以去除晶片中的抗蝕劑和其他材料。TEL INDYPLUS設備旨在提供高效可靠的無汙染蝕刻和灰化工藝。該系統具有多種功能,可確保所需層的精確蝕刻和灰化。這些特性包括能夠精確控制輸送方向、線速和高度的高精度輸送機單元。該機還配備了強大的控制器，可用於控制整個蝕刻和灰化過程。控制器可用於監測溫度、壓力、氣流等不同參數，以確保最佳效果。TOKYO ELECTRON INDY PLUS配備了多個工藝室，包括熱反應工藝室和底物轉子。熱反應工藝室的設計為蝕刻和灰化提供了一個最佳的環境。它能夠產生高溫並確保去除所需的層。基板轉子的設計是為了提供最大的均勻性和生產力，同時蝕刻和灰化。TEL INDY PLUS能夠蝕刻和灰化金屬和多晶矽層以及電介質。它配備了金屬蝕刻和灰化的特殊蝕刻氣體，也能夠進行離子植入過程。該工具旨在確保高度的準確性和可重復性，它具有若幹安全功能，包括緊急關閉資產，以便在發生緊急情況時停止該過程。該模型與各種晶圓尺寸兼容，設計為用戶友好的圖形用戶界面。它還配備了數據記錄設備，允許用戶查看蝕刻和灰化過程歷史記錄。該系統還設計用於確保較長的使用壽命,因為它配備了易於更換或維修的部件以保持其性能。Indy Plus是半導體制造行業中蝕刻和灰化工藝的理想解決方案。憑借其強大的設計、可靠性和用戶友好的功能,它一定能夠提供可靠的蝕刻和灰化過程,並獲得最佳效果。