二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375630 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款創新的半導體器件制造蝕刻器/asher，設計為高度精確。該設備利用先進的數據控制、自動樣品傳輸以及所有蝕刻和/或灰化過程的實時單環。TEL INDYPLUS能夠進行單晶片和批處理，吞吐量高達每小時1000晶片。TOKYO ELECTRON INDY PLUS提供了高度受控的熱環境，具有精確的溫度控制（50°C至500 °C）和出色的均勻性在整個蝕刻/灰化室表面。該系統還提供化學輸送控制，包括精確輸送反應性氣體和蝕刻/灰化化學物質。這保證了結果的最大統一性和可重復性。INDYPLUS配備了一種特殊的能源，能夠對用於蝕刻和/或灰化的離子的能量分布進行高度精確的調整。這樣可以改進對蝕刻/灰化過程的控制,更好地調整蝕刻/灰分時間、各向異性和輪廓滾落。此功能允許對蝕刻/灰化過程進行更大的控制,從而提供更高的準確性和可重復性。TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS包括一個自動化的自旋晶圓站，提供精確的晶圓旋轉，在整個晶圓上進行均勻蝕刻/灰化。該單元還采用了一個自動化的負載鎖轉移室，以高效的樣品轉移。這樣就不需要手動進行樣品加載和卸載操作,並確保在每個樣品上實現所需的蝕刻/灰化過程。INDY PLUS高度用戶友好。它配備了全彩色圖形LCD用戶界面，便於程序創建和修改蝕刻/灰度參數。這使得單晶片和批處理的設置和操作能夠快速、方便。最後,Indy Plus得到了優質客戶支持服務的支持。這臺機器完全由一大批經驗豐富的服務技術人員支持和支持,他們可以在發生任何問題時立即提供支持。TEL還提供全面的培訓和認證計劃,提供必要的支持,以最佳方式利用其工具以獲得最佳效果。