二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9375631 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款用於半導體應用的高級蝕刻器/asher。它是一種多室設備，設計用於高速處理大型矽、復合或合金晶片。TEL INDYPLUS的高速運行是由高端DC/RF電源實現的，該電源可提供工具所需的高達2000瓦的功率。此外，TOKYO ELECTRON INDY PLUS擁有先進的多氣體控制系統和先進的氣體混合傳感裝置，確保精密的蝕刻和灰化工藝。該設備還配備了高精度、高速的薄膜厚度監測器，用於精確的工藝控制。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS還提供自動晶圓處理和加載，消除了手動操作錯誤，減少了操作員疲勞。此外,它還包括先進的預清潔和工藝控制選項,可確保控制一致的清潔和預處理,從而提高分辨率和速度。TEL INDY PLUS還具有高級晶圓映射功能。這種先進的映射技術提供了詳細的過程映射，以監測過程的發展和演變。TOKYO ELECTRON Indy Plus還配備了先進的直列式計量機，它捕獲並顯示精確的實時晶圓數據。最後，INDY PLUS還附帶了高度可靠的遠程服務工具監控和遠程反應控制，由公司的全球支持團隊提供。這使用戶能夠遠程診斷和檢測資產問題,從而使用戶能夠快速高效地做出響應。總體而言，TEL Indy Plus是一種先進的多室蝕刻器/asher模型，設計用於處理高精度和高速度的大型晶片。它包括高端直流/射頻電源、先進的多氣體控制設備、高精度薄膜顯示器、自動晶圓處理、先進的晶圓映射能力和先進的在線計量系統。此外,它還提供可靠的遠程服務系統監控和遠程反應控制,使用戶能夠快速高效地做出響應。