二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9377463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一種蝕刻器/asher，專門研究EUV光掩模毛坯。它用於精確蝕刻和包裝EUV的光掩模毛坯到EUV的光刻準備。該設備具有一系列先進的功能，以最大限度地提高蝕刻和包裝的質量和效率。開始時，TEL INDYPLUS配備了多光束光學對準設備。這種先進的技術可以精確地將光掩模的毛坯放置在薄膜上。此外，系統能夠為每個空白生成單獨的對齊數據，讓蝕刻器獲得對多個毯子極為精確的對齊。TOKYO ELECTRON INDY PLUS還具有高壓、低壓、低壓等離子蝕刻室。該腔室能夠產生超高的蝕刻速率，並且隨著時間的推移負載最小。TOKYO ELECTRON INDYPLUS憑借其先進的工藝，即使運行低重力或低溫工藝，也能取得高度一致的蝕刻結果。最後，TOKYO ELECTRON Indy Plus結合了一種專門的EUV薄膜包裝技術。這項技術可確保將口罩精確包裝和放置在薄膜上,從而使毛坯的包裝極為均勻和精確。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS還可以配備自動包裝和對準裝置，用於大量口罩的自動包裝。最後,TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS 蝕刻器/asher from TEL是一種高度先進的設備,能夠產生精確對齊並堆積在EUV微粒上的高質量EUV光掩模毛坯。該裝置具有多光束光學對準機、強大的等離子體蝕刻室和專門的EUV光電填充技術。所有這些功能結合在一起,提供獨特而先進的蝕刻和包裝體驗。