二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #9384128 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus是一款針對半導體行業的高精度加工需求而開發的先進蝕刻工具。可用於蝕刻、灰燼、平面化層，精度和重復性都很高。該工具包括多區腔室設計，以實現更好的作業均勻性。有七個不同的區域，每個區域都能夠承受不同的壓力、溫度和成分，從而在蝕刻過程中提供統一的結果。它能夠通過氧化膜、金屬、多晶矽、抗蝕劑等多種材料進行蝕刻。TEL INDYPLUS還配備了先進的Gas蝕刻技術，增強了蝕刻工藝的均勻性和可靠性。這種氣體蝕刻工藝通過操縱氣體流動來提高蝕刻剖面的均勻性，從而增加吞吐量，提高淺溝的蝕刻深度和其他特征。TOKYO ELECTRON INDY PLUS也提供多種蝕刻食譜，擁有成本因其高可靠性和耐用性而保持較低。可編程邏輯控制單元可確保精確的過程控制，並確保該工具對用戶友好。控制器的設計易於與現有工廠MIS系統集成，因為它與各種通信協議兼容。外部遠程計算機界面可用，允許用戶通過基於Web的界面監控蝕刻過程。用戶還可以訪問安全的Web服務器進行流程管理和分析。這使用戶能夠獲取重要的蝕刻數據來分析和了解改進過程優化的可加工性。該工具使用邊緣環技術來提高蝕刻器的吞吐量並縮短工藝周期時間。這種方法是利用退火的氧化鋁在電極、介電和金屬之間形成圓柱形連接。退火的氧化鋁邊緣環不受蝕刻氣體的侵蝕，並能抵抗蝕刻，允許更多的邊緣控制和更深的蝕刻。TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS還附帶了分析和處理大型復雜結構的先進技術。這項技術使用戶能夠更準確地蝕刻出更好的均勻性和對蝕刻過程的控制。該工具易於維護,它提供了最新的精密蝕刻尖端技術。